公司有无尝试过用高热导氮化硅陶瓷坩埚代替石英坩埚?如果不能代替石英坩埚,那么其主要在哪些方面存在差异?” 对此,晶澳科技回复称,目前高热导氮化硅陶瓷坩埚技术尚在
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